原子發射光譜是一種利用受激發氣態原子或離子所發射的特征光譜來測定待測物質中元素組成和含量的方法。
電感耦合等離子體發射光譜(ICP-OES)
電感耦合等離子體焰矩溫度可達6000~8000K,當將試樣由進樣器引入霧化器,并被氬載氣帶入焰矩時,試樣中組分被原子化、電離、激發,以光的形式發射出能量。不同元素的原子在激發或電離時,發射不同波長的特征光譜,故根據特征光的波長可進行定性分析;元素的含量不同時,發射特征光的強弱也不同,據此可進行定量分析。
工作氣 吹掃氣 被測物質 分析范圍 關鍵雜質
氬氣 氮氣 從鋰到鈾的元素 μg/L (ppb) - g/L 水,氧
電感耦合等離子體質譜(ICP-MS)
在氬氣等離子體中電離樣品并激發離子 ,測量產生的離子的質量。
工作氣 被測物質 分析范圍 關鍵雜質
氬氣 從鋰到鈾的元素 mg/L- ng/L(ppt) 水,氧
X射線熒光光譜儀(XRF)
利用初級X射線光子或其他微觀粒子激發待測樣品中的原子,使之產生熒光(次級X射線)而進行物質成分分析和化學形態研究。
工作氣 被測物質 分析范圍 關鍵雜質
氬甲烷混合氣 從鈉到鈾的元素 % - ppb 水、氧、碳氫化合物
化學發光檢測器(CLD)
在NO模式,當氣樣中的NO和O3(臭氧)反應生成NO2時,大約有10%的NO2處于激化狀態(以NO2表示)。這些激態分子向基態過渡時,發射出波長590~2500nm的光量子hv,其強度與NO量成正比,利用光電倍增管將這一光能轉變為電信號輸出可推算出NO濃度。
在NOx模式,樣氣首先進入NOx轉換裝置,樣氣中的NOx包括NO和NO2,其中的NO2在此轉換成NO,全部的NO經反應、檢測,輸出一個正比于NOx的直流電流,數字面板表顯示NOx的濃度。
零氣 工作氣 標準氣體 被測物質 分析范圍 關鍵雜質
氮氣 氧氣或空氣
(用于產生臭氧)
氮中一氧化氮
(NO in N2)
NO, NO2, NOx 0.1% - ppm N2, NOx
紫外熒光光譜儀(UVF)
當紫外光射過待測氣體時,氣體中濃度很低的SO2分子受紫外光的激發成為激發態,分子在返回基態的過程中發射出熒光。在測量氣室的上方,通過石英凸透鏡收集熒光并使其穿過窄帶干涉濾光片,被光電倍增管接收。電機的轉動使兩個濾光片交替透射熒光,在間隔很短的時間產生兩個采樣波段不同的熒光電信號,這兩個信號通過信號處理系統的放大,運算,最后轉換成二氧化硫的濃度顯示出來。
零氣 吹掃氣 標準氣體 被測物質 分析范圍 關鍵雜質
氮氣 氮氣 氮中二氧化硫
(SO2 in N2)
SO2 100 - 0.1 ppm SO2

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